集成电路制造技术特点

超净室

超净室是指：一定空间范围内，室内空气中的微粒、有害气体、细菌等污染物被排除，其温度、洁净度、压力、气流速度和气流分布、噪声振动以及照明、静电等被控制在某一范围内的工作环境。第一章

超纯材料

纯度达到99.999999999%(11个9)以上，记为11N。

ppb: 十亿分之一

ppm: 百万分之一